首先,干涉圖需要進行影象處理。通常通過干涉儀所獲得的干涉圖是光強分佈,並非干涉影象的相位分佈。
採用傅立葉變換空間載波法從強度分佈得到相位分佈,即從空間上呈正弦分佈的光強資訊,恢復出波面的相位資訊,流程圖如圖9所示。
這個部分模擬結果如下所示:
基於相位跳變區域劃分的相位解包方法將相位區域劃分為相位跳變區和非相位跳變區,將誤差限制在很小的範圍內的一種比較簡單、抗噪聲能力比較強的相位解包方法,流程圖如圖10所示。
編寫用於提取相位資訊的傅立葉變換空間載波法的程式及其基於相位跳變區域劃分的相位解包程式,為剪下干涉測量系統提供影象處理程式;
其次,需要重建波前。在對波前重建演演算法進行研究分析的基礎上,採用Zernike多項式最小二乘擬合波前的擬合演演算法及其重構方法,編寫了Zernike多項式波前重建演演算法程式,為剪下干涉測量提供重建波面程式。